
في مصانع تصنيع أشباه الموصلات، يتم قياس الوقت بالنانوثوانيات والمسافة بالميكرومترات. بعد عملية التقطيع، يجب أن يتم إزالة الشريط اللاصق باستخدام الأشعة فوق البنفسجية بطريقة نظيفة، دون أي بقايا أو ضرر حراري أو فقدان في الجودة. إذا لم يتناسب مصدر الأشعة فوق البنفسجية مع خصائص الشريط اللاصق، فإن ذلك سيؤدي إلى تصلب جزئي للشريط اللاصق، مما يتطلب استخدام أدوات لإزالته يدويًا، وهو أمر غير مرغوب فيه.
ما الذي يُعتبر مهمًا؟ نستخدم أنابيب إضاءة من الكوارتز تصدر أشعة فوق بنفسجية بطول موجة 365 نانومتر، وهو الطول الموجي المناسب لتحفيز مواد الربط الحساسة للأشعة فوق البنفسجية. الكوارتز عالي النقاء يسمح بمرور أشعة فوق بنفسجية عالية الكثافة مع امتصاص ضئيل، كما أن المرآة الثنائية اللون تساعد في تركيز الأشعة على سطح الركيزة، بحيث تصل كثافة الإضاءة إلى أكثر من 1,200 ميجاواط/سم². هذا يسمح بحدوث ربط سريع بين جزيئات الشريط اللاصق دون تسخين الركيزة. نصمم الأنابيب بحيث تعمل لأكثر من 8,000 ساعة، مع انخفاض في الطاقة المستخدمة بنسبة لا تزيد عن 8% خلال فترة الاستخدام.
لماذا ينجح هذا الأسلوب في فصل أشباه الموصلات؟ فصل أشباه الموصلات باستخدام الأشعة فوق البنفسجية لا يتطلب استخدام حرارة عالية، بل يتطلب كثافة طاقة محددة. الأشعة ذات طول موجة 365 نانومتر تصل إلى طبقة الشريط اللاصق دون أن تؤدي إلى تصلبه، مما يسمح بفصله بسرعة وبشكل نظيف. يمكن للمشغلين تقليل وقت العمليات بنسبة 30–50%, دون وجود أي شوائب أو تشوهات في الركائز الرقيقة. كما أن استخدام الطاقة يقل لأن الأنبوب يصل إلى أقصى كفاءة في ثوانٍ قليلة، وتصميم الأنبوب الخالي من الأوزون يساعد في الحفاظ على نظافة الهواء في الغرف المخصصة للتصنيع.
التفاصيل التي تضمن فعالية الأنبوب: المفتاح هو توافق الأنبوب مع النظام المستخدم. يجب التأكد من توافق شكل المرآة وطول القوس وتركيب الأطراف مع أجهزة الفصل أو أجهزة الطباعة المستخدمة. أنابيب الكوارتز قوية، لكنها تحتاج إلى تبريد مناسب واتصالات كهربائية سليمة. أي خطأ في التركيب قد يقلل من عمر الأنبوب ويؤدي إلى تغيير في طول الموجة. نوفر رسومات تفصيلية وبيانات طيفية لمساعدتك على تركيب الأنبوب في الأنظمة الصناعية وأنظمة أشباه الموصلات المتوفرة.