Sur les lignes de production de semi-conducteurs, on mesure le temps en nanosecondes et la distance en micromètres. Après le découpage des wafer, il est essentiel que le ruban adhésif soit retiré sans laisser de résidus, sans provoquer de chocs thermiques ou de pertes de qualité. Si la source UV n’est pas compatible avec l’adhésif utilisé, cela entraîne un durcissement partiel du matériau, ce qui nécessite un nettoyage manuel et crée des micro-fissures inacceptables.
Ce qui est vraiment important Nous utilisons des tubes à lampe UV en quartz, dont la longueur d’onde d’émission est de 365 nm – c’est précisément cette longueur d’onde qui active les photoinitiateurs présents dans les adhésifs sensibles aux UV. Le quartz de haute pureté permet une transmission UV efficace, avec une absorption minimale. Le réflecteur dichroïque concentre l’énergie lumineuse afin qu’elle atteigne 1 200 mW/cm² juste au niveau de la surface du substrat. Cela permet un cross-linking rapide et superficiel, sans avoir à chauffer le wafer. La lampe est conçue pour fonctionner pendant plus de 8 000 heures, avec une baisse d’énergie inférieure à 8 % tout au long de sa durée de vie.
Pourquoi cela fonctionne bien pour le décollement des semi-conducteurs Le décollement des semi-conducteurs par UV ne repose pas sur la chaleur, mais plutôt sur une densité d’énergie répétable. La longueur d’onde de 365 nm permet à l’énergie d’atteindre la couche adhésive sans provoquer de durcissement excessif du matériau de support. Cela permet ainsi un décollement rapide et sans résidus. Les opérateurs constatent une réduction du temps de traitement de 30 à 50 %. De plus, il n’y a pas de particules ni de déformation des wafer fins. La consommation d’énergie diminue, car la lampe atteint sa puissance maximale en quelques secondes. De plus, la conception sans ozone permet de maintenir l’air de la salle propre.
Les détails qui garantissent son efficacité L’adéquation entre la lampe et le système est cruciale. Il faut vérifier la géométrie du réflecteur, la longueur de l’arc électrique et la configuration des bornes électriques en fonction du système de décollement ou de impression utilisé. Les tubes en quartz sont résistants, mais ils nécessitent néanmoins un flux d’air de refroidissement approprié et des contacts électriques propres. Un mauvais alignement ou un ballast insuffisant réduit la durée de vie de la lampe et provoque des déviations dans la longueur d’onde. Nous fournissons des plans dimensionnels et des profils spectraux afin que vous puissiez intégrer directement cette lampe dans les systèmes UV courants utilisés dans l’industrie des semi-conducteurs.