अर्धचालक उत्पादन प्रक्रिया में, समय को नैनोसेकंड में, एवं दूरी को माइक्रोमीटर में ही मापा जाता है। डाइसिंग के बाद, यूवी टेप को बिना किसी अवशेष के हटाना आवश्यक है… न तो कोई अवशेष रहना चाहिए, न ही कोई थर्मल शॉक होना चाहिए, और न ही उत्पादन में कोई कमी होनी चाहिए। यदि यूवी स्रोत, चिपकने वाले पदार्थ के गुणों के अनुरूप न हो, तो चिपकने वाला पदार्थ आंशिक रूप से ही सूख जाता है… ऐसी स्थिति में मैनुअल रूप से उसे हटाना पड़ता है, जिससे सूक्ष्म दरारें भी पैदा हो जाती हैं… जो कि अस्वीकार्य है।
क्या महत्वपूर्ण है?
हम 365 नैनोमीटर तरंगदैर्घ्य वाली क्वार्ट्ज यूवी लैंप ट्यूबों का उपयोग करते हैं… यही वह तरंगदैर्घ्य है जो यूवी-संवेदनशील चिपकने वाले पदार्थों में फोटोइनिशिएटरों को सक्रिय करता है। उच्च शुद्धता वाला क्वार्ट्ज, कम से कम अवशोषण के साथ गहरे यूवी विकिरण को प्रदान करता है… एवं डाइक्रोइक रिफ्लेक्टर, विकिरण को इतना तीव्र बना देता है कि वह सब्सट्रेट सतह पर 1,200 मिलीवाट/सेमी² से अधिक हो जाता है। इससे तेज़ गति से चिपकने वाला पदार्थ टूट जाता है… बिना वेफर को गर्म किए ही। हम ऐसी लैंपों को 8,000 घंटों से अधिक समय तक स्थिर रूप से काम करने हेतु डिज़ाइन करते हैं… एवं इनकी ऊर्जा खपत 8% से भी कम रहती है।
अर्धचालक उत्पादन में इसका उपयोग क्यों किया जाता है?
अर्धचालक उत्पादन में यूवी तकनीक का उपयोग, अत्यधिक गर्मी के बजाय, नियमित ऊर्जा घनत्व के कारण ही किया जाता है। 365 नैनोमीटर तरंगदैर्घ्य वाला विकिरण, चिपकने वाले पदार्थ में पहुँच जाता है… लेकिन बैकिंग सामग्री को अत्यधिक गर्म नहीं करता… इससे चिपकने वाला पदार्थ तुरंत ही अलग हो जाता है। ऑपरेटरों को 30–50% तक समय की बचत होती है… एवं पतले वेफरों पर कोई दोष भी नहीं पड़ता। लैंप, कुछ ही सेकंडों में पूर्ण ऊर्जा प्रदान करता है… इससे ऊर्जा की खपत कम हो जाती है… एवं ओज़ोन-मुक्त डिज़ाइन के कारण क्लीनरूम में वायु गुणवत्ता भी बनी रहती है।
कौन-सी बातें इस तकनीक को प्रभावी बनाती हैं?
लैंप को सिस्टम के अनुरूप ही चुनना आवश्यक है… रिफ्लेक्टर की ज्यामिति, आर्क लंबाई, एवं टर्मिनल संरचना की जाँच आवश्यक है। क्वार्ट्ज ट्यूबें मजबूत होती हैं… लेकिन उन्हें उचित शीतलन व्यवस्था एवं स्वच्छ विद्युत संपर्कों की आवश्यकता होती है। गलत संरेखण या छोटे आकार के बैलास्ट, लैंप के जीवनकाल को कम कर देते हैं… एवं तरंगदैर्घ्य में भी बदलाव हो जाता है। हम, आवश्यक आयामी जानकारियाँ एवं स्पेक्ट्रल प्रोफाइल भी प्रदान करते हैं… ताकि आप इसे सामान्य अर्धचालक/औद्योगिक यूवी सिस्टमों में आसानी से उपयोग में ला सकें।