На производстве полупроводников время измеряется в наносекундах, а расстояние — в микрометрах. После разрезания пластинок необходимо полностью устранить следы использования УФ-ленты: без остатков клея, без термических шоков и без снижения качества продукции. Если длина волны излучения УФ-лампы не соответствует характеристикам клея, происходит частичное затвердевание клея, что приводит к необходимости ручного удаления остатков клея и возникновению микротрещин, что недопустимо.
Что имеет значение при процессе разделения полупроводниковых пластинок
Мы используем кварцевую УФ-лампу с спектральным излучением, сосредоточенным на длине волны 365 нм — именно этот диапазон длин волн вызывает активацию фотоинициаторов в УФ-чувствительных клеях. Высококачественный кварц обеспечивает эффективную передачу УФ-излучения с минимальным поглощением. Дихроичный отражатель фокусирует излучение так, чтобы его интенсивность на поверхности подложки превышала 1,200 мВт/см². Это способствует быстрой процедуре связывания молекул клея без нагрева самой пластинки. Лампа рассчитана на более 8,000 часов стабильной работы, при этом потеря мощности составляет менее 8% за всё время её службы.
Почему это работает при разделении полупроводниковых пластинок
Процесс разделения полупроводниковых пластинок с использованием УФ-излучения не связан с использованием высоких температур; речь идет о контролируемой интенсивности излучения. Излучение длины волны 365 нм проникает в слой клея, не приводя к его чрезмерному затвердеванию. Это позволяет достичь чистого и мгновенного разделения пластинок. Время выполнения операции сокращается на 30–50%, при этом не возникает частиц и нет деформации тонких пластинок. Потребление энергии снижается, так как лампа достигает максимальной мощности за считанные секунды. Кроме того, отсутствие озона помогает сохранять чистоту воздуха в чистом зале.
Детали, которые обеспечивают эффективность процесса
Ключ к успеху заключается в правильной настройке лампы в соответствии с характеристиками системы. Необходимо учитывать геометрию отражателя, длину дуги и конфигурацию контактов лампы. Кварцевые лампы очень прочные, но им все равно требуется должный поток охлаждающего воздуха и чистые электрические контакты. Неправильная настройка или недостаточная мощность блокировки может сократить срок службы лампы и привести к изменению длины волны излучения. Мы предоставляем чертежи и спектральные характеристики лампы, чтобы вы могли легко интегрировать её в обычные УФ-системы для полупроводников и промышленного использования.