
ในโรงงานผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์ การวัดเวลาจะใช้หน่วยนาโนวินาที ส่วนการวัดระยะทางจะใช้หน่วยไมโครเมตร หลังจากการตัดชิปแล้ว จำเป็นต้องลอกเทปยึดออกอย่างสะอาด โดยไม่มีสิ่งตกค้าง ไม่มีความเสียหายจากความร้อน และไม่มีการสูญเสียชิป หากแหล่งกำเนิดแสง UV ไม่เข้ากันกับวัสดุยึด ก็จะทำให้การยึดเกิดขึ้นได้ไม่สมบูรณ์ ซึ่งหมายถึงจำเป็นต้องขูดวัสดุออกด้วยมือ และอาจทำให้เกิดรอยแตกเล็กๆ ซึ่งเป็นสิ่งที่ไม่สามารถยอมรับได้
สิ่งที่สำคัญจริงๆ เราใช้หลอดไฟ UV ที่ทำจากควอตซ์ โดยมีความยาวคลื่นอยู่ที่ 365 นาโนเมตร ซึ่งเป็นความยาวคลื่นที่เหมาะสมสำหรับการกระตุ้นสารที่ใช้ในการยึดวัสดุในวัสดุที่ไวต่อแสง UV ควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงจะช่วยให้แสง UV สามารถผ่านเข้าไปได้อย่างมีประสิทธิภาพ โดยมีการดูดซับแสงน้อยที่สุด นอกจากนี้ กระจกสะท้อนแสงยังช่วยเพิ่มความเข้มของแสงให้สูงกว่า 1,200 mW/cm² ที่พื้นผิวของวัสดุ ซึ่งช่วยให้เกิดการเชื่อมต่อระหว่างวัสดุได้อย่างรวดเร็ว โดยไม่ต้องใช้ความร้อน หลอดไฟนี้ถูกออกแบบมาให้สามารถทำงานได้นานกว่า 8,000 ชั่วโมง และมีการลดลงของพลังงานน้อยกว่า 8% ตลอดอายุการใช้งาน
เหตุใดวิธีนี้จึงได้ผลดีในการแยกวัสดุในชิปเซมิคอนดักเตอร์ การแยกวัสดุในชิปเซมิคอนดักเตอร์ด้วยแสง UV ไม่ใช่การใช้ความร้อน แต่เป็นการใช้พลังงานในปริมาณที่เหมาะสม ความยาวคลื่น 365 นาโนเมตรจะช่วยให้แสงสามารถเข้าไปในชั้นวัสดุที่ใช้ยึดได้ โดยไม่ทำให้วัสดุด้านหลังถูกทำลาย ดังนั้นจึงสามารถแยกวัสดุออกได้อย่างสะอาดและรวดเร็ว นอกจากนี้ ยังช่วยให้เวลาในการผลิตลดลง 30–50% โดยไม่มีสิ่งสกปรกหรือความเสียหายต่อชิปที่มีความหนาเพียงเล็กน้อย การใช้พลังงานก็ลดลง เนื่องจากหลอดไฟสามารถทำงานได้อย่างเต็มประสิทธิภาพภายในไม่กี่วินาที และการออกแบบที่ไม่มีก๊าซโอโซนก็ช่วยให้อากาศในห้องผลิตอยู่ในมาตรฐานที่กำหนด
รายละเอียดที่สำคัญ สิ่งสำคัญคือการจับคู่หลอดไฟกับระบบที่ใช้ ต้องตรวจสอบรูปร่างของกระจกสะท้อนแสง ความยาวของหลอดไฟ และการเชื่อมต่อของสายไฟให้เหมาะสมกับระบบที่ใช้ หลอดไฟควอตซ์มีความทนทาน แต่ก็ยังต้องมีระบบระบายความร้อนที่ดี และการเชื่อมต่อที่ดีด้วย หากมีการจัดวางที่ผิดหรือมีขนาดของอุปกรณ์ที่ไม่เหมาะสม ก็จะทำให้อายุการใช้งานของหลอดไฟลดลง และทำให้ความยาวคลื่นเปลี่ยนไป เรามีแบบแปลนและข้อมูลเกี่ยวกับสเปกตรัมของหลอดไฟให้ ซึ่งช่วยให้คุณสามารถนำไปใช้กับระบบ UV ในโรงงานผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์ได้ทันที