Trong quy trình sản xuất chất bán dẫn, thời gian được đo bằng nanôgiây, còn khoảng cách thì được đo bằng micromet. Sau khi cắt tấm chất bán dẫn thành các mảnh nhỏ, lớp keo dính phải được loại bỏ một cách sạch sẽ – không để lại dư lượng keo, không gây ra hiện tượng sốc nhiệt, và cũng không làm giảm tỷ lệ sản phẩm hoàn thiện. Nếu nguồn ánh sáng UV không phù hợp với loại keo dùng, việc khử keo sẽ diễn ra một cách không hoàn chỉnh, dẫn đến việc phải tiến hành công việc chà nhám thủ công, và điều này sẽ gây ra những vết nứt nhỏ trên bề mặt tấm chất bán dẫn – điều mà chúng ta không thể chấp nhận được.
Điều quan trọng trong quy trình này
Chúng tôi sử dụng ống đèn UV làm từ thạch anh, với bước sóng phát sáng ở mức 365nm – đây chính là bước sóng lý tưởng để kích hoạt các chất phản ứng quang học trong keo dính nhạy cảm với ánh sáng UV. Thạch anh có độ tinh khiết cao, giúp ánh sáng UV xuyên qua một cách hiệu quả mà hầu như không bị hấp thụ. Bộ phản xạ ánh sáng giúp tập trung năng lượng ánh sáng vào vị trí cần xử lý, giúp năng lượng ánh sáng tại đó vượt quá 1.200 mW/cm². Điều này giúp quá trình liên kết giữa các phân tử keo diễn ra nhanh chóng, mà không cần phải sử dụng nhiệt độ cao. Chúng tôi thiết kế ống đèn sao cho có thể hoạt động ổn định trong hơn 8.000 giờ, với mức suy giảm năng lượng dưới 8% trong suốt thời gian sử dụng.
Tại sao phương pháp này hiệu quả trong việc tách chất bán dẫn
Quá trình tách chất bán dẫn bằng ánh sáng UV không phụ thuộc vào nhiệt độ cao, mà phụ thuộc vào mật độ năng lượng được cung cấp. Bước sóng 365nm giúp ánh sáng xâm nhập vào lớp keo mà không làm keo bị đông cứng quá mức, từ đó giúp tách chất bán dẫn một cách nhanh chóng và sạch sẽ. Thời gian thực hiện quy trình giảm 30–50%, đồng thời không có hạt bụi nào được tạo ra, và các tấm chất bán dẫn mỏng cũng không bị biến dạng. Việc sử dụng ít năng lượng hơn cũng là một lợi thế, vì ống đèn có thể hoạt động ở mức công suất tối đa trong vài giây. Thiết kế không sử dụng ozone giúp duy trì chất lượng không khí trong phòng sạch ở mức chuẩn.
Những yếu tố quan trọng để đảm bảo hiệu quả
Việc kết hợp ống đèn với hệ thống xử lý là yếu tố then chốt. Cần kiểm tra kỹ hình dạng của bộ phản xạ ánh sáng, chiều dài của arc, và cấu hình các đầu nối điện sao cho phù hợp với hệ thống xử lý chất bán dẫn. Ống đèn thạch anh rất bền, nhưng vẫn cần có hệ thống làm mát hiệu quả và các đầu nối điện tốt. Nếu có sự mất cân bằng trong cấu hình hoặc kích thước ống đèn không phù hợp, tuổi thọ của ống đèn sẽ bị rút ngắn, và bước sóng phát sáng cũng sẽ bị thay đổi. Chúng tôi cung cấp các bản vẽ kỹ thuật và thông số quang phổ để giúp bạn dễ dàng tích hợp ống đèn vào các hệ thống UV thông thường.