Im Bereich der Halbleiterfertigung wird die Zeit in Nanosekunden und die Entfernung in Mikrometern gemessen. Nach dem Schneiden muss das UV-Tape sauber entfernt werden – ohne Rückstände, ohne thermische Belastung und ohne Einbußen in der Qualität. Wenn die UV-Quelle nicht zu dem Klebstoff passt, kommt es zu einer unvollständigen Aushärtung – das bedeutet manuelles Abschaben sowie Mikratschäden, die man sich nicht leisten kann.
Was wirklich wichtig ist
Wir verwenden Quarz-UV-Lampen mit einem Spektrumsausgang bei 365 nm – genau die Wellenlänge, die die Photoinitiatoren in UV-sensiblen Klebstoffen aktiviert. Hochreiner Quarz sorgt für eine effektive Übertragung des UV-Lichts mit minimalem Absorptionseffekt. Der dichroitische Reflektor konzentriert das Licht so stark, dass die Strahlungsintensität direkt auf der Substratoberfläche über 1.200 mW/cm² liegt. Dadurch erfolgt eine schnelle, oberflächenbasierte Verklebung – ohne dass das Wafer erhitzt wird. Unsere Lampen sind für mehr als 8.000 Stunden stabile Funktionszeit ausgelegt; außerdem bleibt der Energieverlust während ihrer Lebensdauer unter 8%.
Warum das bei der Trennung von Halbleitern funktioniert
Bei der Trennung von Halbleitern geht es nicht um reine Hitze, sondern um eine wiederholbare Energieintensität. Das Licht mit 365 nm dringt in die Klebstoffschicht ein, ohne den Trägermaterial zu stark zu härten. Dadurch entsteht eine saubere, sofortige Trennung. Die Bediener erleben dadurch eine Reduzierung der Zykluszeiten um 30–50%. Zudem entstehen keine Partikel und es kommt zu keiner Verformung der dünnen Wafer. Der Energieverbrauch sinkt, da die Lampe innerhalb weniger Sekunden ihre volle Leistung erreicht. Zudem sorgt das ozonfreie Design dafür, dass die Luft im Reinraum weiterhin den vorgeschriebenen Standards entspricht.
Die Details, die dafür sorgen, dass alles funktioniert
Es ist entscheidend, die Lampe richtig an das System anzupassen. Man muss dabei die Geometrie des Reflektors, die Länge des Lichtbogens sowie die Anschlüsse auf die jeweilige Trenn- oder Druckplattform abstimmen. Quarzröhren sind zwar robust, benötigen aber dennoch eine ordentliche Kühlung sowie saubere Elektrokontakte. Eine Fehlausrichtung oder ein zu kleiner Ballast verkürzt die Lebensdauer der Lampe und führt zu einer Verschiebung der Wellenlänge. Wir liefern maßgeschneiderte Zeichnungen sowie Spektrumprofile, damit Sie die Lampe problemlos in gängige Halbleiter- und Industri UV-Systeme integrieren können.